拉普拉斯低壓水平多功能熱處理系統 LMR370/05
拉普拉斯低壓水平多功能熱處理系統 LMR370/05

拉普拉斯最新的低壓水平多功能熱處理系統可單機集成低壓磷擴、低壓硼擴、低壓氧化退火和LPCVD等功能,應用于各種高效電池的多種熱處理關鍵工藝,為高效太陽能電池研發的核心工藝設備。

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系統的應用及特點

本設備適合156-210mm硅片生產,相比常規豎直插片具有更高的均勻性,能幫助客戶提升高效電池的效率、集中性、和EL良率。




拉普拉斯低壓水平多功能熱處理系統 LMR370/05

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