硅基半導體器件用氧化爐Pindola?系列POX300型
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技術參數:

? ? 1.? 高精度溫度場控制技術,能滿足1200℃的高溫工藝?

? ? 2.? 特殊的氣體管道設計,確保工藝腔室的高潔凈度?

? ? 3.? 低應力細絲+真空澆筑隔熱的獨特熱場設計和自適應串級溫控系統,更保證恒溫區的高精度控溫?

? ? 4.? 先進的顆??刂萍夹g?

? ? 5.? 增加工藝腔室閉環壓力控制技術,確保工藝效果的均勻性?

????6.? 穩定的傳輸系統和工藝模塊設計,可兼容多種工藝要求


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