硅基半導體器件用擴散爐Pindola?系列PRX300型
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技術參數:

? ? 1.? 可配工藝管外徑:2-8英寸

? ? 2.? 可配工藝管數量:1-5管/臺

? ? 3.? 工作溫度范圍:400-1280℃?

? ? 4.? 恒溫區長度及精度:300-1100mm 800-1280℃±0.5℃?

? ? 5.? 單點溫度穩定性:800-1280℃±0.5℃/24h?

? ? 6.? 最大可控升溫速度:20℃/min?

? ? 7.? 最大降溫速度:5℃/min


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